تأثیر غلظت و ضخامت آلاینده آلومینیوم بر خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک دی اکسید قلع آلاییده با آلومینیوم

Abstract

در این کار تجربی لایه­های نازک دی­اکسید قلع آلاییده با آلومینیوم با ترکیب­های مختلفی از 5 تا 10 درصد جرمی آلومینیوم و 95 تا 90 درصد جرمی دی­اکسید قلع بوسیله تبخیر با باریکه الکترونی بر روی زیرلایه­های شیشه­ای نهشته شدند. سپس تاثیر غلظت آلاینده آلومینیوم و ضخامت بر خواص الکتریکی، اپتیکی و ساختاری این لایه­ها بررسی شد. خواص این لایه­های نازک بوسیله پراش پرتو X، اسپکتروفوتومتر <em>UV</em>- <em>VIS</em>و پروب چهارسوزنی بررسی شد. طیفXRD بدست آمده بر حسب افزایش درصد ناخالصی نشان داد که همه لایه­ها جهت ترجیحی(110) را نشان می­دهند و ساختار بس­بلوری دارند که با افزایش میزان ناخالصی اندازه دانه­ها کاهش یافته، تعداد و شدت پیک­های ظاهر شده کم شده و بلورینگی در این لایه­ها کاهش یافته است. همچنین با افزایش ضخامت لایه­ها، میزان شفافیت لایه­ها و مقاومت ویژه کاهش می­یابند، بنحوی که در مورد لایه­های با 5/7 % جرمی آلومینیوم، مقدار میانگین عبور لایه­ها از مقدار 5/88 % برای نمونه­ای با ضخامت 250 نانومتر به مقدار 3/82 % برای نمونه­ای با ضخامت 450 نانومتر کاهش می­یابد. همچنین مقاومت ویژه به کمترین مقدار خود یعنی<br /> ^4-10×247/5 اهم- سانتیمتر برای نمونه­ای با ضخامت 450 نانومتر می­رسد.