بررسی اثر ضخامت لایه‌های نازک بسبلوریSnO2 در حسگری گازهای O2 و CO2

Abstract

در این تحقیق سه نمونه از لایه های نازک اکسید قلع خالص را که به روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیرلایه شیشه لایه نشانی شده اند مورد مطالعه قرار دادیم. اینها به عنوان حسگر گازهای اکسیژن و دی اکسیدکربن استفاده می‌شوند. طیف عبوری لایه ها حاکی از نازکی لایه ها در محدوده نانومتری (nm 200-150)، و طیف XRD نشانگر تغییر سمتگیری بسبلوری از (200) به (110) می‌باشد که این تغییر سمت‌گیری بلوری به دلیل تغییر ضخامت لایه‌ها می‌باشد. همچنین ابعاد بلورکها از 31 تا 5/22 نانومتر کاهش یافته است. حساسیت نمونه ها نسبت به ppm 2000 از این گازها نشان داد که دمای بهینه کاری در این نمونه ها برای گاز اکسیژن و دی‌اکسید‌کربن به ترتیب C^◦170 و C^◦180 می باشد. علاوه بر این دریافتیم نمونه با پایین ترین ضخامت (nm 150) که از کوچکترین ابعاد بلورکی (nm 5/22) برخوردار بوده و سمتگیری ترجیهی در آن (110) است و حساسیت آن برای گاز اکسیژن بیشتر از دی‌اکسید کربن است