ساخت و آزمایش یک سلول شکست هیدروژن

Abstract

یک سلول UHV شکست اتمی هیدروژن جهت تولید هیدروژن اتمی به منظور تمیز سازی درجای نمونه‌های نیمه هادی ساخته شده است. این سلول به منظور تمیز سازی نمونه های گروه سه تا پنج جدول تناوبی عناصر نظیر GaAs تنظیم و مورد آزمایش قرارگرفته است. درکارحاضر فرایند شیمیایی تمیزسازی هیدروژن نمونه‌های GaAs توسط طیف سنجی جرمی مورد مطالعه قرارگرفت. روش XPS روی نمونه‌ها در مراحل مختلف تمیزسازی به‌کارگرفته شد. دفع اکسیدهای ذاتی روی یکی از نمونه‌های GaAs منجر به سطحی هموار گردیدکه توسط دستگاه RHEED مورد تایید قرار گرفت .