نانوحسگرهای گازی بر اساس نانوحفره‌های آلومینای ساخته شده به روش آندیزاسیون سخت برای حسگری رطوبت در دمای اتاق

Abstract

نانوحسگرهای رطوبت بر اساس نانو حفره‌های آلومینا به روش جدید آندیزاسیون سخت مطالعه شد. برای بررسی اثر میزان آنیون‌های اسیدی موجود در قسمت‌های مختلف آلومینا بر حساسیت نانوحسگر، دو نوع حسگر دیواره و لایه سدی در دو چگالی جریان متفاوت با ولتاژهای آندیزاسیون 38 و 44 ولت ساخته شد. اثر فرکانس در بازه 3 تا 40 کیلوهرتز در ولتاژهای مختلف و در دامنه‌های رطوبت نسبی 40 تا 90 درصد بر حساسیت و زمان‌های پاسخ و بازیافت نانو حسگرها به روش طیف سنجی امپدانس در دمای اطاق بررسی شده است. نشان داده شد که حسگرهای لایه سدی و حسگرهای ساخته شده با جریان آندیزاسیون بالاتر، دارای حساسیت بیشتری می‌باشند. همچنین مشاهده شد که حساسیت با فرکانس نسبت عکس داشته و تغییر ولتاژ اعمالی به حسگر اثری بر حساسیت آن ندارد.