آنالیز تاثیر نقص در لبه موجبر تپه‌ای ساخته شده در لیتیوم نایوبایت

Abstract

در این تحقیق، قابلیت روش جدید ساخت موجبرهای تپه‌ای در لیتیوم نایوبایت مبتنی بر سونش فیزیکی با گاز آرگون و نفوذ تیتانیوم بررسی می‌شود. برای این منظور سهم مد انتشاری در قسمت برآمده موجبر تپه‌ای، اندازه­گیری و شبیه­سازی شده است. همینطور اثرات نقص‌های دیواره‌های موجبر تپه‌ای که یکی از چالشهای این نوع موجبرها است، در مقدار تلفات نور منتشر شده در موجبر، شبیه‌سازی شده است. ارتفاع قسمت برآمده موجبر ساخته شده 2.5 میکرومتر است و نقص‌های موجود در دیوارهای کناری قسمت برآمده موجبرکه به دلیل فرایند لیتوگرافی و به خصوص ماسک نوری به وجود می‌آیند، به طور متوسط حدود 200 نانومتر اندازه گیری شده است. در این تحقیق با استفاده از شبیه‌سازی مقدار نفوذ تیتانیوم و توزیع ضریب شکست در موجبر، نشان داده شده است که با وجود نقص‌های دیواره کناری موجبر، باتوجه به بکارگیری عمق مناسبی برای نفوذ تیتانیوم، ضمن دستیابی به سهم مد انتشاری حدود 50% در قسمت برآمده، تلفات انتشاری کمتر از dB/cm 3 قابل دستیابی است.