در این مقاله اثر میزان شار اکسیژن هنگام لایه‌نشانی بر روی ضریب شکست لایه اکسید آلومینیوم بررسی شده است. لایه‌های  توسط تفنگ الکترونی بر روی زیرلایه شیشه‌ای در شارهای متفاوت اکسیژن انباشته شده‌اند. درجه حرارت زیرلایه در ...