مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

Abstract

فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایة سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین فناوری‌ها انجام می‌شود. میکرو‌ماشینکاری سیلیکونی پیشرفته‌‌ترین فناوری میکرو‌ماشینکاری است. امروزه در کشورهای پیشرفتة جهان، توسعة تلفیقی سیستم‌های مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد بسیار کوچک مورد نظر است؛ زیرا این حوزة مهم علمی موجب افزایش سرعت و ‌کاهش حجم در بخش‌های مختلف صنعت خواهد شد. فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیکی در صنایع گوناگون و اثرگذار جهان از جمله صنعت خودروسازی، موشکی، تولید انواع تراشه‌ و صنایع نظامی کاربرد بسیار زیادی دارد. علاوه بر تجاری‌سازی برخی دستگاه‌های میکروالکترومکانیکی، که دارای یکپارچگی کمتری هستند مانند میکروشتاب‌سنج‌ها، مفاهیم و امکان‌پذیری بیشتر سیستم‌های میکروالکترومکانیکی پیچیده برای کاربرد‌هایی در زمینه‌های متنوع همچون سیستم‌های بی‌‌سیم و اپتیک ارائه شده است. در این مقاله به برخی از ابعاد گوناگون این بخش از صنعت اشاره شده است.