بررسی مشخصه های اپتیکی لایه های نازک ZrO2 و TiO2 در راستای استفاده در قطعات لیزرهای پر توان

Abstract

در این مقاله پس از ساخت لایه های نازک TiO₂ و ZrO₂ بر روی زیر لایه BK7 به روش تبخیر با باریکه الکترونی، طیف عبوری<br /> UV-visible از لایه ها تهیه شده است. با استفاده از طیف عبوری، ضریب شکست لایه ها به دست آمده است. تصاویر AFM از لایه های نازک TiO₂و ZrO₂ تهیه شده است. اندازه‌گیری پراکندگی این لایه های نازک با روش پراکندگی تجمعی کلی یا TIS و روش AFM انجام شده است. همچنین، مقادیر زبری سطح و تخلخل و هدایت گرمایی لایه ها محاسبه شده است و دو لایه از لحاظ پارامترهای پراکندگی و آستانه تخریب لیزری و تغییرات ضریب شکست در اثر تغییرات حرارتی با هم مقایسه شده اند.