میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscope): اصول عملکرد

Abstract

امروزه با پیشرفت‌های حاصل شده در علم سطح و ساختارهای نانومتری، لزوم اطلاع در مورد چگونگی عملکرد میکروسکوپ‌های الکترونی بیش‌تر از گذشته نمود پیدا کرده است. به همین دلیل در این گزارش، گریزی به اجزاء سازنده میکروسکوپ‌های الکترونی زدیم و اصول عملکرد هر کدام از این اجزاء را از مرحله تولید باریکه الکترونی تا تشکیل تصویر با کیفیت به تفضیل توضیح داده‌ایم.