الکترون‌های تصویرساز در میکروسکوپ الکترونی روبشی

Abstract

تلاش بشر در به دست آوردن تکنیکی برای رویت اجسام ریز ابعاد از ابتدا با تکیه بر انرژی فوتونی بازه نور مرئی استوار بود اما به دلیل محدودیت طول موج نور مرئی این تلاش بشر در رویت ابعاد زیر میکرومتر ناکام ماند و ذهن خلاق وی را بر آن گماشت تا از جهت ساخت ادوات میکروسکوپی دست به دامان منابع انرژی پر توان‌تر چون منبع الکترونی شود و چاشنی ساخت میکروسکوپ‌های الکترونی امروزی را هر چه بیش‌تر شعله‌ور سازد.<br />هنگامی که باریکه الکترونی به سطح نمونه تابش می‌کند، بین سطح و الکترون‌ها برهم کنش رخ داده و نتیجه حاصله ساطع شدن پرتوهای الکترونی متفاوتی با شاخصه‌های اطلاعاتی گسترده‌ای از سطح و اجزا تشکیل دهنده نمونه می‌باشند. الکترون‌های مذکور معیاری از شناسایی و برچسب زنی سطح مواد می‌باشند که توسط سیستم پیچیده آشکارسازها، تبدیل به تصویر و اطلاعات مفید دیگری در پردازنده میکروسکوپ الکترونی می‌شوند.<br />اصول فیزیکی تصویرسازی در میکروسکوپ‌های الکترونی در این گزارش مورد بررسی قرار گرفته شده است. به این منظور پس از توصیف بزرگنمایی و عمق روشنایی در میکروسکوپ‌ها، انواع الکترون‌های اصلی ساطع شده از نمونه در اثر برخورد الکترون‌های منبع الکترونی همانند الکترون ثانویه و الکترون‌های بازپراکننده مورد شناسایی قرار می‌گیرند.