| dc.contributor.author | عباسپورثانی, ابراهیم | fa_IR |
| dc.contributor.author | محمدزاده بازارچی, صادق | fa_IR |
| dc.date.accessioned | 1399-07-08T21:22:25Z | fa_IR |
| dc.date.accessioned | 2020-09-29T21:22:25Z | |
| dc.date.available | 1399-07-08T21:22:25Z | fa_IR |
| dc.date.available | 2020-09-29T21:22:25Z | |
| dc.date.issued | 2019-04-21 | en_US |
| dc.date.issued | 1398-02-01 | fa_IR |
| dc.date.submitted | 2017-06-17 | en_US |
| dc.date.submitted | 1396-03-27 | fa_IR |
| dc.identifier.citation | عباسپورثانی, ابراهیم, محمدزاده بازارچی, صادق. (1398). طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به‌صورت آرایه مبتنی بر MEMS. مجله مهندسی برق دانشگاه تبریز, 49(1), 317-329. | fa_IR |
| dc.identifier.issn | 2008-7799 | |
| dc.identifier.issn | 2538-3051 | |
| dc.identifier.uri | https://tjee.tabrizu.ac.ir/article_8664.html | |
| dc.identifier.uri | https://iranjournals.nlai.ir/handle/123456789/108895 | |
| dc.description.abstract | اندازه‌گیری خلأ HVو UHV تا فشار <sup>۱۲-</sup>۱۰ تور از سال 1950 میلادی تاکنون با گیج یونی کاتد گرم موسوم به "بایارد آلپرت" انجام می‌گیرد. کارهای تحقیقاتی انجام‌شده روی گیج یونی نوع MEMS کافی نبوده و تاکنون تجاری‌سازی نشده است. در این مقاله انواع حس‌گر خلأ نوع MEMS و غیر MEMS که بتوانند خلأ HV و UHV را اندازه بگیرند، معرفی می‌شوند. این مقاله یک ایده گیج خلأ یونی مبتنی بر فناوری MEMS به‌صورت آرایه و نیز طراحی و شبیه‌سازی آن را ارائه می‌کند. اندازه گیج یونی پیشنهادی <sup>3</sup>×1.2mm5×1 بوده و حداقل 3000 برابر کوچک‌تر از نوع مرسوم (بایارد آلپرت) است. مصرف توان الکتریکی در این طرح 50 برابر کمتر از نوع مرسوم است. ساختار طرح پیشنهادی شامل کلکتور، کاتد و شبکه آند از نوع مرسوم متفاوت بوده و مبتنی بر فنّاوری MEMS است. کاتد در این طرح از جنس نیکل بوده و می‌تواند در دمای ℃750 الکترون‌فکنی نماید. طرح کاتد طوری است که دما در طول آن تقریباً یکنواخت و مستقل از فشار خلأ است. طرح پیشنهادی دارای ضریب حساسیت 0.6 در محدوده اندازه‌گیری <sup>3-</sup>10 الی <sup>7-</sup>10×2 تور است. ضریب حساسیت در این طرح 20 برابر کمتر از نوع مرسوم است که عیب این طرح را نشان می‌دهد. | fa_IR |
| dc.format.extent | 2270 | |
| dc.format.mimetype | application/pdf | |
| dc.language | فارسی | |
| dc.language.iso | fa_IR | |
| dc.publisher | رئیس دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر | fa_IR |
| dc.publisher | Faculty of Electrical & Computer Engineering | en_US |
| dc.relation.ispartof | مجله مهندسی برق دانشگاه تبریز | fa_IR |
| dc.relation.ispartof | TABRIZ JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING | en_US |
| dc.subject | گیج یونی MEMS | fa_IR |
| dc.subject | حس‌گر خلأ MEMS | fa_IR |
| dc.subject | گیج یونی کاتد گرم | fa_IR |
| dc.subject | گیج بایارد آلپرت | fa_IR |
| dc.subject | حس‌گر خلأ | fa_IR |
| dc.title | طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به‌صورت آرایه مبتنی بر MEMS | fa_IR |
| dc.type | Text | en_US |
| dc.contributor.department | دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر - دانشگاه ارومیه | fa_IR |
| dc.contributor.department | دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر - دانشگاه ارومیه | fa_IR |
| dc.citation.volume | 49 | |
| dc.citation.issue | 1 | |
| dc.citation.spage | 317 | |
| dc.citation.epage | 329 | |
