مرور دوره 8, شماره 1 بر اساس موضوع "اصلاح خطای شکل"

در حال نمایش موارد 1 - 1 از 1

  • اندازه‌گیری میزان صافی سطح زبر با استفاده از حسگر خازنی 

    امیر آبادی, حسین؛ شاکری, محسن؛ هوریچی, اسامو (دانشگاه تربیت مدرس, 2008-10-01)
    توپوگرافی و اندازه‌گیری صافی سطح زبر با استفاده از اندازه‌گیری لیزر اینترفرومتری میکروسکوپ زیگو1 ناممکن است. به‌دلیل دقت بالا و همچنین مدت زمان کوتاه اندازه‌گیری، استفاده از روش خازنی برای اندازه‌گیری توپوگرافی و صافی سطح ...