اندازه‌گیری میزان صافی سطح زبر با استفاده از حسگر خازنی

Abstract

توپوگرافی و اندازه‌گیری صافی سطح زبر با استفاده از اندازه‌گیری لیزر اینترفرومتری میکروسکوپ زیگو1 ناممکن است. به‌دلیل دقت بالا و همچنین مدت زمان کوتاه اندازه‌گیری، استفاده از روش خازنی برای اندازه‌گیری توپوگرافی و صافی سطح زبر از جنس کوارتز پیشنهاد می‌شود. با استفاده از این روش می‌توان نقشه خطا را برای فرایند‌های اصلاح خطای شکل، مانند پولیش‌کاری با کنترل کامپیوتری(CCP) ، پرداخت با ذرات ساینده مغناطیسی(MRF) ، روش جت سیال ساینده و اصلاح به‌روش یونی، ایجاد کرد. در این تحقیق توپوگرافی خطای شکل سطح زبر به‌کمک حسگر خازنی اندازه‌گیری و قطعه موردنظر با استفاده از روش غبار سیال ساینده اصلاح خطا شد و ایده اصلاح خطای شکل سطح زبر به واقعیت پیوست. مشخص شد که در میان روشهای اندازه‌گیری میانگین - مساحت، روش اندازه‌گیری خازنی، توانایی اندازه‌گیری و تحقق ایده اصلاح خطای شکل، سطح زبر را دارد. اندازه‌گیری صافی سطح قطعه‌ای که زبری Rc آن در حدود صافی سطح قطعه است یکی از ویژگی‌های منحصر به‌فرد روش ارائه شده است.