در این مقاله اثر فیلم سیال و اثر اندازه بر روی رفتار دینامیکی میکروصفحه بررسی شده است. میکروصفحه‌ی مورد نظر یک صفحه‌ی دوسرگیردار می‌باشد که توسط نیروی الکترواستاتیک تحریک می‌شود. فضای بین میکروصفحه و بستر صلب، هوا وجود ...