بررسی محیط سیال و اثر اندازه بر روی رفتار دینامیکی میکروصفحه
چکیده
در این مقاله اثر فیلم سیال و اثر اندازه بر روی رفتار دینامیکی میکروصفحه بررسی شده است. میکروصفحه‌ی مورد نظر یک صفحه‌ی دوسرگیردار می‌باشد که توسط نیروی الکترواستاتیک تحریک می‌شود. فضای بین میکروصفحه و بستر صلب، هوا وجود دارد. معادله حرکت صفحه با استفاده از تئوری مرتبه اول تنش برشی و تئوری کوپل تنش و در نظر گرفتن کرنش‌های ون‌کارمن بدست می‌آید. معادله حاکم بر فشار سیال معادله رینولدز غیرخطی و تئوری میکروپلار برای لحاظ کردن اثر اندازه در سیال می_باشد. با استفاده از روش المان محدود معادلات حرکت ورق و با استفاده از روش اختلاف محدود معادلات رینولدز، خطی سازی می شود. معادلات دیفرانسیل مرتبه اول وابسته به زمان با استفاده از روش انتگرال گیری مستقیم نیومارک حل می شود. اثرات اندازه و اثر کشیدگی صفحه‌ی میانی بر رفتار دینامیکی ورق و همچنین تغییرات فاکتور کیفیت نسبت به پارامترهای مختلف به عنوان نتایج این مقاله ارائه می شود. بر اساس نتایج، در نظر گرفتن اثر کشش صفحه‌ی میانی صلبیت میکروصفحه را افزایش داده و بخصوص برای ولتازهای تحریک با دامنه‌ی بالاتر این اثر واضح‌تر است. در نظر گرفتن اثر اندازه در صفحه باعث افزایش و در سیال باعث کاهش صلبیت سیستم می شود. افزایش فشار سیال باعث کاهش دامنه نوسان در تحریک پله‌ای می‌شود که ناپایداری دینامیکی را به تعویق می اندازد. با افزایش پارامتر کوپلینگ سیال فرکانس طبیعی میکروصفحه افزایش می یابد، اما با افزایش پارامتر مقیاس طول سیال این فرکانس و همچنین فاکتور کیفیت سیستم کاهش پیدا می‌کند
کلید واژگان
میکروصفحهرفتار دینامیکی
اثر اندازه
فیلم سیال
کشش صفحه میانی
شماره نشریه
9تاریخ نشر
2017-11-011396-08-10
ناشر
دانشگاه تربیت مدرسسازمان پدید آورنده
دانشجوی دکتری، مهندسی مکانیک، دانشگاه تریت مدرس، تهراندانشیار هیئت علمی دانشگاه تربیت مدرس
استاد مهندسی مکانیک دانشگاه ارومیه
شاپا
1027-59402476-6909
