اثر غلظت متان و دما درتعداد لایه های گرافین فوم سنتز شده به روش CVD

Abstract

در این پژوهش گرافین فوم(GF) کم­لایه به روش رسوب­دهی بخار شیمیایی(CVD) سنتز شد و اثر غلظت متان و دمای سنتز مورد مطالعه قرار گرفت. با تغییر غلظت گاز عامل(متان) با مقادیر 0.5، 0.6، 0.7، 1 و 1.5 sccm (standard cubic centimeters per minute) به ترتیب گرافین فوم با تعداد لایه­های 2، 4، 6، 11 و25 بدست آمد. همچنین با تغییر دمای سنتز CVD در دماهای 900، 1000 و 1120 درجه سانتی­گراد به ترتیب گرافین فوم 23، 10 و 6 لایه تولید شد. تصاویر بدست آمده از میکروسکوپ روبشی الکترونی(SEM) کیفیت ساختار متخلخل GF را نشان می­دهد. طیف سنجی رامان برای تایید تشکیل گرافین و ارتباط بین تعداد لایه­های GF با تغییر غلظت گاز متان و دمای سنتز بکار گرفته شد. نتایج بدست ­آمده از طیف سنجی رامان نشان می­دهد، تغییر غلظت گاز عامل(متان) و دمای سنتز عوامل مهم در تعیین تعداد لایه­های گرافین کم­لایه هستند. با کاهش غلظت گاز متان به sccm6/0 و افزایش دمای سنتز به 1120 درجه سانتی­گراد نمونه­GF دولایه سنتز شد.