سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی

Abstract

در این تحقیق، سیلیکون متخلخل به روش نوین حکاکی ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی سنتز شد و تغییرات خواص اپتیکی و ساختاری بر اساس درجه تخلخل نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. در این روش سطح زیر لایه های سیلیکونی ابتدا توسط روش اچینگ شیمیایی به مدت T_d (زمان تاخیر) آماده سازی گردید. سپس در روش اچینگ الکتروشیمیایی حفره‌های اولیه تولید شده در مرحله قبل، امتداد یافته و سیلیکون متخلخل یکنواختی ایجاد شد. با بهینه کردن زمان تاخیر T_d، میزان تخلخل و یکنواختی حفره‌ها بهینه شد. مطالعات مورفولوژی و مشخصه‌یابی الکترواپتیکی نشان داد که نمونه‌ای که با زمان تأخیر بهینه تولید شده است، خواص فیزیکی بهتری دارد و می‌تواند در ادوات نوری همچون آشکارسازهای نوری به طور موثری مورد استفاده قرار گیرد. به منظور بررسی خواص الکترواپتیکی نمونه‌های متخلخل، آشکارسازهای نوری فلز-نیمه‌هادی-فلز بر پایه سیلیکون متخلخل ساخته شد. برای این منظور، دو الکترود شانه ای شکل از جنس نیکل به روش لایه‌نشانی تبخیر حرارتی بر روی نمونه‌ها رشد داده شد و نمودار جریان – ولتاژ نمونه‌ها تحت تابش نور مرئی و در تاریکی، مورد بررسی قرار گرفت.