مرور دوره 7, شماره 11 بر اساس موضوع "بازدهی مصرف هدف"
در حال نمایش موارد 1 - 1 از 1
-
طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی
(انجمن علوم و تکنولوژی سطح ایران, 2011-08-23)در این مقاله با بهینهسازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرمافزار اجزای محدود ANSYS، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت ...



