تأثیر لایه‌های مختلف اکسید بر خواص حسگری فیلم آلومینای آندی نانوحفره‌دار
چکیده
در کار حاضر، قالب اکسید آلومینیوم آنده شده به وسیله روش آنده نرم شتاب‌دار و در اسید فسفریک 6/0 مولار و با ولتاژ آنده 175 ولت ساخته شد. قطر حفره‌ها توسط سونش شیمیایی نمونه‌ها در اسید فسفریک 5/0 مولار و در مدت زمان‌های مختلف 8، 16، 32 و 40 دقیقه افزایش داده شد. بررسی تصاویر میکروسکوپ الکترونی نشان داد که قطر حفره‌ها با زمان سونش به صورت نمایی افزایش می‌یابد. با لایه نشانی الکترودهای نقره روی نمونه‌ها و سپس با استفاده از یک مدار RC برای طیف سنجی امپدانسی، مشخصات حسگری نمونه‌های ساخته شده نسبت به رطوبت مورد بررسی قرار گرفت. اندازه‌گیری‌ها نشان داد که بیشترین میزان پاسخ حسگری نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با 40 دقیقه سونش می‌باشد. برای این حسگر آستانه رطوبت نسبی قابل آشکار سازی 30 درصد و زمان پاسخ و بازیافت به ترتیب 8 و 2 ثانیه بود.
کلید واژگان
آندهآلومینای نانوحفره‌دار
حسگر رطوبت
سونش شیمیایی
طیف سنجی امپدانسی
شماره نشریه
4تاریخ نشر
2014-02-201392-12-01
ناشر
انجمن فیزیک ایرانشاپا
1682-69572345-3664
