شبیه‌سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود

Abstract

هدف از این مقاله وارد کردن اصلاحاتی به مدل انبوهش پخش محدود می‌باشد که بتواند اثرات نوع آلایش و چگالی جریان را درشکل ساختارهای به‌دست آمده طی رشد سیلیکان متخلخل شبیه‌سازی کند. برای تأثیر نوع آلایش, ضریب چسبندگی و برای تأثیر چگالی جریان, پارامتر میدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال کردیم. نتایج شبیه‌سازی نشان می‌دهند که پارامتر ضریب چسبندگی در کنترل ضخامت خلل مؤثر است در حالی‌که پارامتر میدان متوسط ویژگی درختی یا میله‌ای بودن خلل را کنترل می‌کند. نتایج آن بر روی شبیه‌سازی رشد سیلیکان متخلخل, نشان داد اصلاحات اعمال شده با تأثیر این دو پارامتر در شکل ساختارهای شبیه سازی شده با نتایج نمونه‌های تجربی به‌دست آمده توافق و سازگاری دارند.