آنالیز RBS-Channeling ابزاری توانمند جهت مطالعه ساختار بلوری جامدات

Abstract

بررسی ساختار بلوری به روش‌های آنالیز به وسیلة باریکه یونی، افق جدیدی از درک ساختار بلوری و نقص‌های موجود در بلور را امروزه به روی پژوهشگران گشوده است. در این مقاله بطور خلاصه مفاهیم و کاربردهای آنالیز RBS-Channeling در بررسی ساختار بلوری مواد معرفی می‌شود؛ مختصری هم از کاربردهای این روش آنالیز در زمینه بررسی نمونه‌های نیمرسانا گنجانده شده است.