تأثیر پرتو لیزر اگزایمر ArF بر روی پلی‌مر آلیل دی‌گلیکول کربنات

Abstract

در این مقاله تأثیر پرتو فرابنفش لیزر اگزایمر ArF با طول موج 193 نانومتر بر روی پلی‌مر آلیل دی‌گلیکول کربنات (39CR-) بررسی شده است. ابتدا پلی‌مرها به سه دسته تقسیم شدند. دسته‌ی اول، زیر آستانه‌ی نورکندگی و دسته‌ی دوم، بالای آستانه‌ی نورکندگی، با تعداد تپ‌های متفاوت لیزر ArF پرتودهی شدند. دسته‌ی سوم ابتدا زیر آستانه‌ی نورکندگی با لیزر ArF و سپس با ذره‌های آلفای گسیلیده از Am241 پرتودهی و سپس به طور شیمیایی در محلول آبی سدیم هیدروکسید 25/6 مولار سونیده شدند. برای بررسی تغییر در ریخت‌شناسی سطح پلی‌مر، از میکروسکوپی الکترون پویشی (SEM) و برای تحلیل و بررسی ردپاهای ذره‌های آلفای ثبت شده در پلی‌مر آلیل دی‌گلیکول کربنات از میکروسکوپ نوری استفاده شد. نتیجه‌ها نشان داد که ساختارهای کرم‌مانند و تعدادی مخروط بر اثر پرتودهی لیزری روی سطح پلی‌مر ایجاد می‌شود. هم‌چنین مشاهده شد که قطر میانگین ردپاها کاهش می‌یابد. بنابراین لیزر باعث سخت شدن سطح آشکارساز می‌شود.