بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی
(ندگان)پدیدآور
محقق پور, الهامرجبی, مرجانغلامی پور, رضامجتهدزاده لاریجانی, مجیدشیبانی, شهابنوع مدرک
Textعلمی-پژوهشی
زبان مدرک
فارسیچکیده
در تحقیق حاضر اثر دمای زیرلایه در محدوده ºC 400-36 بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن ایجاد شده بر سطح شیشه به روش کندوپاش پرتو یونی بررسی شده است. خواص نوری و ساختاری لایه به ترتیب به وسیله طیف سنجی UV-visible، طیف سنجی رامان و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازهگیری طیف عبور نمونه ها کاهش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش دمای انباشت را نشان می دهد. طیف رامان لایه ها نشان می دهد که ساختار لایه نازک کربن آمورف با افزایش دمای انباشت به سمت کربن آمورف گرافیتی تغییر میکند. بررسی لایه های انباشت شده در دمای بالاتر از ºC100 نشاندهنده روند کاهشی مقاومت الکتریکی اندازهگیری شده توسط روش چهار کاوه و انرژی نوار ممنوعه با افزایش دمای انباشت می باشد. در حالی که نتایج بررسی مورفولوژی سطح افزایش زبری سطح در اثر افزایش دمای زیرلایه را نشان می دهد. در نمونه های انباشت شده در دمای ºC100، حداقل اندازه خوشه های کریستالی گرافیتی با پیوندهایsp2 برابر با nm 36/0 و حداکثر انرژی نوار ممنوعه برابر با eV 3 می باشد.
کلید واژگان
"لایه نازک""کربن آمورف"
"دمای زیرلایه"
"کندوپاش پرتو یونی"
شماره نشریه
4تاریخ نشر
2018-02-201396-12-01
ناشر
دانشگاه آزاد اسلامی واحد شهر مجلسیMajlesi Branch,Islamic Azad University
سازمان پدید آورنده
دانشجوی دکتریهیات علمی سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
هیات علمی سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
هیات علمی پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای
هیات علمی پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای
شاپا
2423-32262423-3234