فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق ...