سنسورهای میکروالکترومکانیکی فشار به‌دلیل سهولت ساخت، هزینة‌ پایین، روش اندازه‌گیری ساده، محدودة گستردة فشار مورد اندازه‌گیری و دقت اندازه‌گیری بالا محبوبیت بسیاری دارند. در این پژوهش، رفتار مکانیکی یک میکروسنسور فشار ...