استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب‌دوست‌شده پلیمر PMMA
چکیده
روش‌های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن‌ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته‌اند. در این مقاله، روشی مفید و کم‌هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته‌سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه‌ای ساخته‌شده است. فرآیند حرارتی مورد استفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار می‌باشد که همگی مورد بررسی قرار گرفته‌اند. برای اینکه بتوان از ساختار ایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آب‌گریز PMMA، آب‌دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته‌شده‌اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبول می‌باشد. ویژگی‌های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به‌کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایه شیشه‌ای برای مهر و ورق‌های پلکسی به‌عنوان بستر می‌باشند.
کلید واژگان
لیتوگرافی نرمMEMS
SU-8
میکروساختار
PMMA
شماره نشریه
2تاریخ نشر
2016-08-221395-06-01
ناشر
رئیس دانشکده مهندسی برق و کامپیوترFaculty of Electrical & Computer Engineering
سازمان پدید آورنده
دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیکدانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک
دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک
شاپا
2008-77992538-3051
