نمایش مختصر رکورد

dc.contributor.authorروح الهی, سهیلاfa_IR
dc.contributor.authorحسینی, سید حجت الهfa_IR
dc.contributor.authorزنگنه مدار, کریمfa_IR
dc.contributor.authorابراهیمی فردوئی, محمدرضاfa_IR
dc.contributor.authorمرساق دزفولی, سعیدfa_IR
dc.date.accessioned1402-04-17T12:40:05Zfa_IR
dc.date.accessioned2023-07-08T12:40:06Z
dc.date.available1402-04-17T12:40:05Zfa_IR
dc.date.available2023-07-08T12:40:06Z
dc.date.issued2023-03-01en_US
dc.date.issued1401-12-10fa_IR
dc.identifier.citationروح الهی, سهیلا, حسینی, سید حجت اله, زنگنه مدار, کریم, ابراهیمی فردوئی, محمدرضا, مرساق دزفولی, سعید. (1401). بررسی نقش انرژی پرتو یون بر ماهیت لایه‌ نازک کربن آمورف (Sp2/Sp3) توسط فرایند لایه‌نشانی پرتو یونی. علم و مهندسی سرامیک, 11(4), 60-73.fa_IR
dc.identifier.issn2322-2352
dc.identifier.urihttp://ijcse.ir/article-1-909-fa.html
dc.identifier.urihttps://iranjournals.nlai.ir/handle/123456789/1002724
dc.description.abstractانرژی یون کربن یک فاکتور کلیدی در تعیین مقدار پیوندهای sp3 در ساختار لایه کربن آمورف و ماهیت شبه الماسه است. در این پژوهش، تحولات ساختاری پوشش کربن شبه الماس بر اساس مکانیزم­ تشکیل پیوندsp3 متاثر از انرژی پرتو یون توسط فرایند لایه­نشانی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، جهت لایه­نشانی پوشش­ها، پارامتر انرژی پرتو یون در مقادیر 200، 300 و eV 400 در نظر گرفته شد. سپس جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوشش­های ایجاد شده، از آنالیزهای طیف­سنجی رامان و فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) استفاده شد. همچنین جهت تاثیر انرژی پرتو یون بر زبری سطح و ضخامت پوشش­های اعمالی، از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) استفاده گردید. سختی و مدول الاستیک توسط آزمون نانوسختی­سنجی اندازه­گیری شد. مطابق نتایج آنالیز رامان، کمترین مقدار نسبت ID/IG در انرژی پرتو یون eV300 بدست آمد که برابر با 66/0 بود. نتایج حاصل از آنالیز XPS گویای کمترین مقدار پیوندهای sp2 در لایه کربن شبه الماس در انرژی پرتو یونیeV300 بود. همچنین نتایج آنالیز AFM، نشان داد که در انرژی پرتو یون eV300، زبری سطح پوشش کربن شبه الماس، کمترین مقدار را دارا است. با توجه به بیشترین مقدار پیوندهای sp3 در انرژی پرتو یونی  eV 300، پوشش کربن شبه الماس دارای بیشترین سختی و برابر با GPa 6/10بود.fa_IR
dc.format.extent775
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.languageفارسی
dc.language.isofa_IR
dc.publisherانجمن سرامیک ایرانfa_IR
dc.relation.ispartofعلم و مهندسی سرامیکfa_IR
dc.relation.ispartofIranian Journal of Ceramic Science & Engineeringen_US
dc.subjectکربن شبه الماسfa_IR
dc.subjectانرژی پرتو یونfa_IR
dc.subjectپیوند sp3fa_IR
dc.subjectرسوب گذاری پرتو یونیfa_IR
dc.subjectپوشش‌های سرامیکیfa_IR
dc.titleبررسی نقش انرژی پرتو یون بر ماهیت لایه‌ نازک کربن آمورف (Sp2/Sp3) توسط فرایند لایه‌نشانی پرتو یونیfa_IR
dc.typeTexten_US
dc.typeپژوهشيfa_IR
dc.contributor.departmentدانشگاه مالک اشترfa_IR
dc.contributor.departmentدانشگاه مالک اشترfa_IR
dc.contributor.departmentدانشگاه مالک اشترfa_IR
dc.contributor.departmentدانشگاه مالک اشترfa_IR
dc.contributor.departmentدانشگاه مالک اشترfa_IR
dc.citation.volume11
dc.citation.issue4
dc.citation.spage60
dc.citation.epage73


فایل‌های این مورد

Thumbnail

این مورد در مجموعه‌های زیر وجود دارد:

نمایش مختصر رکورد